테트라메틸암모늄하이드록사이드(TMAH) CAS 75-59-2(25% 수용액)
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| 화학명 | 테트라메틸암모늄하이드록사이드(25% 수용액) |
| 동의어 | TMAH(25% 수용액); N,N,N-트리메틸메탄아미늄 수산화물 |
| CAS 번호 | 75-59-2 |
| 재고현황 | 재고 있음, 생산 규모 최대 톤 |
| 분자식 | (CH3)4NOH |
| 분자량 | 91.15 |
| 볼링 포인트 | 110℃ |
| 인화점 | 6℃ |
| 밀도 | 1.016 (수용성 25%) |
| 굴절률(N20/D) | 1.378~1.384 |
| 수용성 | 물에 용해됨 |
| 냄새 | 강한 암모니아-냄새와 비슷함 |
| 안정성 | 안정. 가연성. 강한 산화제, 강산과 호환되지 않습니다. |
| 위험 경고 | 독성이 강함! 가연성 액체! |
| 브랜드 | 루이푸 화학 |
| 품목 | 사양 |
| 외관 | 무색 액체 |
| 분석 | 24.5~25.5%(적정에 의한 분석) |
| 염화물 | <500ppm |
| 칼륨(K) | <5ppm |
| 나트륨(Na) | <5ppm |
| 색상 | <50APHA |
| 굴절률 n20/D | 1.378~1.384 |
| 적외선 스펙트럼 | 구조에 따른다 |
| 테스트 표준 | 엔터프라이즈 표준 |
패키지: 25kg/드럼 또는 고객 요구 사항에 따라.
보관 조건:밀봉된 용기에 담아 서늘하고 건조한 곳에 보관하십시오. 빛과 습기로부터 보호하십시오.
위험 기호 T - 독성
다 - 부식성
위험 코드
R20/21/22 - 흡입, 피부 접촉, 삼키면 유해함.
R34 - 화상을 일으킴
안전 설명
S26 - 눈에 들어간 경우 즉시 다량의 물로 씻어내고 의사의 진료를 받으십시오.
S36/37/39 - 적절한 보호복, 장갑, 눈/얼굴 보호구를 착용하십시오.
S45 - 사고가 발생하거나 몸이 불편할 경우 즉시 의사의 진료를 받으십시오. (가능한 경우 라벨을 보여주십시오.)
UN ID UN 1835
WGK 독일 1
RTECS PA0875000
FLUKA 브랜드 F 코드 4.4-10-34
TSCA 예
HS 코드 2923900090
위험 등급 3
포장 그룹 II
테트라메틸암모늄 수산화물(TMAH)(CAS: 75-59-2)은 높은 실리콘 에칭 속도로 인해 실리콘에 대한 이방성 에칭제로 일반적으로 사용되는 4차 암모늄염이며, 포토리소그래피 공정에서 산성 포토레지스트 개발 시 기본 용매, 자성유체 합성 시 계면활성제 및 폴라로그래픽 시약으로 사용됩니다. 이는 컴퓨터 실리콘 웨이퍼 표면 광택제 및 세정제에 사용되는 유기 실리콘 생산에 적용됩니다. 또한 일부 금속 원소의 정화에도 관여합니다.
